کیمیکل وانپ جمع کرنے کا عمل
کیمیائی بخار جمع ہونے کے عمل کو تین اہم مراحل میں تقسیم کیا جاتا ہے: رد عمل گیس سبسٹریٹ کی سطح پر پھوٹتی ہے ، رد عمل گیس سبسٹریٹ کی سطح پر جذب ہوتی ہے ، ایک کیمیائی رد عمل سبسٹریٹ کی سطح پر پائے جاتے ہیں جس سے ٹھوس جمع ہوتا ہے ، اور گیس کے مرحلے کے ذریعہ مصنوعات مصنوعی سطح سے الگ ہوجاتے ہیں۔ سب سے عام کیمیائی بخارات جمع ہونے کے رد عمل ہیں: تھرمل سڑن کے رد عمل ، کیمیائی ترکیب کے رد عمل اور کیمیائی نقل و حمل کے رد عمل۔ عام طور پر ٹی آئی سی یا ٹی این کو 850 ~ 1100 at پر ٹی سی ایل 4 ، ایچ 2 ، سی ایچ 4 اور دیگر گیسوں کو تعامل چیمبر میں متعارف کروا کر جمع کیا جاتا ہے ، اور کیمیائی رد عمل کے ذریعہ سبسٹریٹ کی سطح پر ایک کوٹنگ تشکیل دی جاتی ہے۔